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井勤在中关村附近的酒店公寓为这些学生安排了住处,大家都向单位请了长假,随时准备着投入研发工作。
他们现如今都是计算机领域、机械领域及电子光学领域的科研人员,对光刻机的原理有一定的理论基础,加上任泫寒和蒋凡晞自己,以及外聘的工程师、教授和技术员,一支二十多人的光刻机研发队伍组成了。
团队里有几位是国内另一家光刻机制造公司的工程师。他们有多年的光刻机整机制造经验,在他们的协助下,研发光刻机所需的设备、技术、配件和实验室很快就落实了。
项目由这几位工程师带头,蒋凡晞作为项目领头人,早早拿到了工艺图纸。
建造一台光刻机不难,难的是找到突破口,研究出目前世界上最先进的5nm光刻技术。
“咱们国家目前的情况是——”
会议室里,项目总工程师钟宏正跟大家详细介绍国内目前的光刻机技术。
“28nm已经研发成功,今年量产。不过实验室现在已经有22nm光刻技术的研究成果,但能不能投入使用,还要经过一段时间的试验。”
坐在投影幕布对面、会议长桌主位上的蒋凡晞在资料册上写下备注:“28nm可量产,22nm待定。”
钟宏继续发言:“目前,能做5nm光刻机的只有荷兰那家,它的技术是EUV极紫外线,用的是13.5nm波长的光源,这是突破10nm芯片制程节点必不可少的工具。”
有人附议:“他们EUV极紫外线的光源也是找美国进口。”
蒋凡晞点点头,在资料册上简单备注后,总结道:“意思就是——即使我们有EUV技术,但也不一定能进口到最佳光源。要彻底解决这个问题,只能是完全摒弃EUV技术,另辟蹊径,寻找其他替代性的技术。”
“是这样没错。其实70年代咱们就已经有制造光刻机的经验了,经验是很充足的,但低纳米技术的光刻机为何迟迟做不出来?就是卡在这里!什么时候突破这个节点,咱们就不必再被人卡着脖子了。”
钟宏笑说:“与其说咱们在研发5nm光刻机,倒不如说研发替代EUV的新型光源技术。说研发光刻机听上去太难太累,那么大一台机子,压在心口上喘不过气啊是不是?咱们说研发一个什么技术,那听上去就轻松多了,是吧?所以大家放松点,咱们可以的!”
大伙都笑了,会议室里响动着年轻的笑声,原本严肃的气氛轻松了不少。
蒋凡晞也笑了。
确实听钟宏这么一番讲解,心情好像没那么压抑了。
她自己做研发工作的,最能理解研发成果有时候也受情绪的影响。
钟宏在投影幕布前讲解着目前几大可能替代EUV的光源技术,然后将与会所有人员分成三个小组,每一组负责研发一种替代技术,什么时候研发出来,什么时候结束。
蒋凡晞没有参与分组,因为她打算到时候每一组都去看看情况。
……
实验室每一天都在烧钱,做研发工作需要大量资金的支持,蒋凡晞和任泫寒决定各自减持手头上20%的FX的股份,套出四亿现金用以支持光刻机的研发。